超高真空(UHV)是一門精密技術(shù)的藝術(shù)，各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實驗皆可根據(jù)需求整合在一個或多個的超高真空(UHV)腔體(箱體)，或以超高真空傳輸系統(tǒng)進行鏈接，TEMP TECH真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經(jīng)驗及技術(shù)。我們根據(jù)不同的實驗需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進行精密的設(shè)計，能滿足配合客戶實驗上的各種質(zhì)量及性能要求。
空間中氣體壓力小于一大氣壓力者為真空，高真空實際定義真空壓力范圍大約 1.33 x 10-4 Pa （1 × 10-6 Torr），而超高真空之真空度范圍為 10-7 Pa （7.5 x 10-10 Torr）或更低之壓力。

1、球型真空腔體

2、管道型真空腔體

3、方型真空腔體

4、異型真空腔體